东莞市富欣德净化技术有限公司为电子、微电子、半导体、精密机械、生物医药、食品加工、航空航天等行业提供专业的设计、施工及维护等净化技术服务,敬请关注! 中文 英文
全国服务热线 13829131365
半导体
联系我们

联系人:张小姐
手机:13829131365
邮箱:cnfuxinde@163.com
网址:www.fxdcleanroom.com
地址:广东省东莞市寮步镇元英路3号

半导体
您当前的位置是:主页 > CN > 工程篇 > 半导体 >

更衣室

洁净室的定义:


洁净室(Clean Room)也叫洁净厂房、无尘车间、无尘室,是指将一定空间范围之内空气中的微粒子,有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。广泛运用于半导体、微电子、PCB、光电技术、光学仪器、生物工程、医药卫生、精细化工和食品工业等高科技领域提供10级—30万级的洁净生产环境。

 

材料要求:


洁净室的建筑装饰对洁净室综合性能有直接影响,故要求:表面平滑,有耐磨性,不易产生静电、不吸湿、材料不产尘、不易积尘(结构)、不透尘(严密)、地面耐磨性、耐侵蚀、防静电、防滑、易清扫。

 

结构材料:


1、洁净厂房漆、顶板材料一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。

2、地面可采用环氧自流坪地或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。

3、送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好有阻燃型PEF保温材料。

4、高效送风口采用不锈钢框架或喷塑框架,美观清洁,不生锈不粘尘,易清洁。

 

洁净室的分类:


按用途分:

a、工业洁净室(无生命微粒为控制对象)

b、生物洁净室(有生命微粒为控制对象)

按气流可分:

a、非单向流洁净室(乱洁净室)

非单向流洁净室的原理就是稀释作用。当一股干净气流从送风口送入室内时,迅速向四周扩散、混合。同时把差不多同样数量的气流从回风口排走,这股干净气流稀释着室内污染的空气,把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了,一直达到平衡。所以气流扩散的越快,越均匀,那么稀释的效果当然越好。

B、单向流洁净室

单向流洁净室的特点:

(1)全室断面上的流速比较均匀。

(2)在工作区内流线平行。流线平行指时均流线彼此平行。

(3)在工作区内没有涡流。

 

   单向流洁净室的分类:

 

1、垂直单向流洁净室

(1)顶棚满布高效过滤器送风,全地板格栅回风,这是典型的垂直单向流洁净室,见图1。

优点是:可获得均匀向下的单向气流,因而自净能力强,能够达到最高的洁净度级别。

(2)侧布高效过滤器顶棚阻尼层送风,全地板格栅回风。

(3)顶棚和侧面双布高效过滤器送风,全地板格栅回风。

(4)全顶棚送风,两侧下回风。

2、水平单向流洁净室

 

(1)送风墙满布高效过滤器水平送风,全墙面回风,见图2。

(2)“隧道”式单向流送风

 

设计特点:

 

装修部分:

 

洁净区全部间墙和天花采用彩钢板,拐角处用圆弧圆角过渡,洁净车间门(彩钢板门)、窗(玻璃窗)全部采用专用铝合金边框,保证车间良好的密封性能与美观效果;生产车间地面采用全不锈钢或铝合金高架地板,不产尘易清洁,保证车间良好的洁净环境。

 

净化部分:

 

采用上送下侧回的气流组织方案,采用全自动恒温恒湿空调机组+中效增压箱+高效送风口组合进行空气调节,保证良好洁净效果,空调送风系统全部经过初、中、高三级过滤,高效过滤器的过滤效率为99.99%。人员需经过“换鞋→更衣→缓冲→风淋”四个步骤才能进入洁净区。

 

电气部分:

 

照明灯具安装洁净室专用净化灯具,部分净化灯带应急电源能在工厂停电时延时30分钟熄灭,当厂房突然停电时,能有一定的照明度应急处理生产设备和疏散洁净室内工作人员;动力配电插座分为380V、220V、36V几种形式,安装与地面上,全部线路暗装在地板下。

设计特点:


装修部分:

 

洁净区全部间墙和天花采用彩钢板,拐角处用圆弧圆角过渡,洁净车间门全部采用不锈钢边框全自动感应自动净化门,观察窗采用铝合金边框净化玻璃窗,保证车间良好的密封性能与美观效果;生产车间地面铺EPOXY及PVC防静电地板,不产尘易清洁,摆放百级洁净工作台生产线,保证生产工艺洁净度和生产流程要求。

 

净化部分:

 

采用上送下侧回的气流组织方案,选用“水冷柜机+加湿器+中效增压箱+高效送风口”组合进行空气调节,既保证良好洁净效果,又不需恒温恒湿空调机的昂贵费用;空调送风系统全部经过初、中、高三级过滤,高效过滤器的过滤效果为99.99%。人员需经过“换鞋→更衣→缓冲→风淋”四个步骤才能进入洁净区。

 

电器部分:

 

照明灯具安装洁净室专用净化灯具,部分净化灯带应急电源;能在工厂停电时延时30分钟熄灭,当厂房突然停电时,能有一定的照明度应急处理生产设备和疏散洁净室内工作人员;百级洁净工作台电力配线全部暗装铺设。


洁净度等级标准(常用):

1.jpg2.jpg

东莞市富欣德净化技术有限公司